超純水氮封裝置

EDI超純水氮封裝置產(chǎn)品說明

 本實用新型屬于超純水氮封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于電子超純水的氮封系統(tǒng)。在范圍內(nèi)，新材料不斷研發(fā)和進步，對水的需求越來越高，同時，水資源日趨匱乏也是企業(yè)所面臨的現(xiàn)狀，因此，水技術(shù)市場的發(fā)展前景是*的。純水和超純水的生產(chǎn)便是其中非常重要的組成部分。在電子半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)工序中需要用到大量的超純水進行沖洗，edi系統(tǒng)制取出的超純水需要進行封存，不能與空氣接觸，否則空氣中的co2、o2和雜質(zhì)會因接觸水體而影響水質(zhì)。

特點：  

1、無需外加能源，能在無電、無氣的場合工作，既方便，又節(jié)約能源，降低成本.   

2、氮封裝置供氮、泄氮壓力設(shè)定方便，可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進行.   

3、壓力檢測膜片有效面積大，設(shè)定彈簧剛度小，動作靈敏，裝置工作平穩(wěn).   

4、采用無填料設(shè)計，閥桿所受摩擦力小，反應(yīng)迅速，控制精度高.

5、供氮裝置采用指揮器操作，減壓比可達100:1，減壓效果好，控制精度高.

一種純水系統(tǒng)的氮氣節(jié)能裝置，包括純水箱，氮氣進氣管及補水管，所述純水箱還通過水箱溢流管與水封桶的水箱連接管相連，還設(shè)置有進水閥和液位計，其通過液位傳感器與純水箱外部的液位控制器相連接，達到節(jié)約氮氣消耗量的目的；授權(quán)公告號一種氮封水箱，通過在純水水箱中設(shè)置的氮封閥等氮封系統(tǒng)，使水箱內(nèi)氮氣的氣相空間壓力維持在2.5kpa左右，當氣相空間壓力高于2.5kpa時，氮封閥關(guān)閉，停止氮氣供應(yīng)；當氣相空間壓力低于2.5kpa時，氮封閥開啟，開始補充氮氣，保證水箱在正常運行過程中不吸進空氣，防止空氣中的塵埃、co2等污染物進入di水(去離子水)中形成二次污染；一種純水系統(tǒng)的氮氣節(jié)能裝置，采用空氣減壓閥、電磁閥的設(shè)置，通過微調(diào)壓力表，用來檢測氮封水箱中的氮氣壓力，根據(jù)氮封水箱氮氣壓力控制，調(diào)節(jié)氮氣輸出。

空氣中含有二氧化碳、細菌、塵埃等雜質(zhì)，而超純水為純的溶劑，對這些雜質(zhì)的溶解能力很強，故一旦超純水與空氣接觸，就會使其電阻率迅速下降，實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右，因此超純水的儲存容器應(yīng)避免水體與空氣的接觸。

常見處理超純水與空氣接觸的方法：

充氮法：

即在水箱水面上充入氮氣使箱內(nèi)維持適當?shù)恼龎毫Γ柚勾髿馀c箱內(nèi)水面接觸。

薄膜袋法：

即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上，薄膜袋隨水位升降，減少水面與空氣接觸面積。

浮頂法：

即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面，并用輕質(zhì)彈性材料（如海綿、發(fā)泡塑料等）遮蓋浮頂與箱間的間隙，浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機會。

在上述三種方法中又以氮封水箱見。

氮封水箱的工作原理：

超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內(nèi)，水箱內(nèi)氮氣壓力不大于80Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2 等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。

氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當儲罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時，快速泄放閥迅速開啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲罐內(nèi)壓力降低時，開啟閥門，向罐內(nèi)充注氮氣。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設(shè)定，從0.5Kpa至60Kpa以下。

☆微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值如：3Kpa；

☆泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠離供氮壓力值，如：8Kpa；

☆具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來確定選擇。

☆N2 的純度為99.995％以上。

EDI超純水氮封裝置技術(shù)參數(shù)和性能

閥體

執(zhí)行器

性能

五、 額定流量系數(shù)、額定行程、性能

供氮裝置

泄氮裝置

1 供氮裝置主要技術(shù)參數(shù)及性能指標

2泄氨裝置主要技術(shù)參數(shù)及性能指標

 外形尺寸及重量

1供氮裝置外形尺寸及重量

2泄氮裝置外形尺寸及重量

所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)通過控制器相聯(lián)鎖，所述控制器可以為單片機，其一個控制端與所述比例調(diào)節(jié)閥相連，另一個控制端與所述液位傳感器相連，當所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)升高時，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度增大（流向副容器的流量減小），當所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)降低時，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度減小（流向副容器的流量增大）。

實際運行過程中氮封水箱可能會不起作用，這需要我們分析故障原因，一般而言泄放閥與微壓調(diào)節(jié)閥不動作是主要的原因。針對上述問題，本實用新型提供一種用于電子超純水的氮封系統(tǒng)，用于edi系統(tǒng)制取的超純水的封存，通過設(shè)置比例調(diào)節(jié)閥的開度與外供泵的流量聯(lián)鎖控制，可根據(jù)外供泵的流量大小，控制比例調(diào)節(jié)閥的開度，調(diào)節(jié)進入氮封水箱的通道，最終達到一個氮封水箱液位恒定的目的，達到節(jié)省高純氮氣的目的。

氮封裝置安裝事項

（1）安裝前，檢查整機零件是否缺損與松動，對管道應(yīng)進行清洗，介質(zhì)流向應(yīng)與閥體上的箭頭指向*。

（2）為便于現(xiàn)場維護與操作，閥四周應(yīng)留有適當空間與設(shè)置旁路手動閥，閥組安裝方案。

（3）閥門應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上，閥體與管道的法塵連接，要注意同軸度，并應(yīng)安裝在環(huán)境溫度不超過-25～55℃的場合使用。

 訂貨須知：

一、①產(chǎn)品名稱與型號②口徑③是否帶附件以便我們的為您正確選型④使用壓力⑤使用介質(zhì)的溫度。
二、若已經(jīng)由設(shè)計單位選定公司的型號，請型號直接向我司銷售部訂購。

三、當使用的場合非常重要或環(huán)境比較復(fù)雜時,請您盡量提供設(shè)計圖紙和詳細參數(shù)，由我們申弘閥門的技術(shù)為您審核把關(guān)。產(chǎn)品所屬調(diào)節(jié)閥系列，感謝您訪問我們申弘閥門的如有任何疑問.您可以致電給我們,我們一定會盡心盡力為您提供良好的服務(wù)。如需要了解更多其它閥類產(chǎn)品的信息可以點擊減壓閥查看。